Metóda odparovania elektrónovým lúčom je druh vákuového odparovacieho povlaku, ktorý využíva elektrónové lúče na priame zahrievanie odparovacieho materiálu vo vákuu, odparovanie odparovacieho materiálu a jeho transport na substrát a kondenzáciu na substráte za vzniku tenkého filmu.V zariadení na ohrev elektrónovým lúčom je ohrievaná látka umiestnená vo vodou chladenom tégliku, ktorý môže zabrániť reakcii medzi odparovacím materiálom a stenou téglika a ovplyvniť kvalitu filmu.Do zariadenia je možné umiestniť viacero téglikov, aby sa dosiahlo súčasné alebo oddelené odparovanie a ukladanie rôznych látok.Pri odparovaní elektrónovým lúčom je možné odpariť akýkoľvek materiál.
Odparovanie elektrónovým lúčom môže odparovať materiály s vysokou teplotou topenia.V porovnaní so všeobecným odparovaním odporového ohrevu má vyššiu tepelnú účinnosť, vyššiu hustotu prúdu lúča a vyššiu rýchlosť odparovania.Film a film z rôznych optických materiálov, ako je vodivé sklo.
Charakteristickým znakom odparovania elektrónového lúča je, že nepokryje alebo len zriedkavo pokryje dve strany cieľovej trojrozmernej štruktúry a zvyčajne sa usadí iba na cieľovom povrchu.Toto je rozdiel medzi odparovaním elektrónového lúča a naprašovaním.
Odparovanie elektrónovým lúčom sa bežne používa v oblasti výskumu a priemyslu polovodičov.Energia zrýchleného elektrónu sa používa na zasiahnutie materiálneho cieľa, čo spôsobí, že sa materiálový cieľ odparí a stúpa.Nakoniec uložené na cieľ.
Čas odoslania: 02. december 2022