Ako funguje magnetrónové naprašovanie?
Magnetrónové naprašovanie je metóda fyzického nanášania pár (PVD), trieda procesov vákuového nanášania na výrobu tenkých filmov a povlakov.
Názov "magnetrónové naprašovanie" pochádza z použitia magnetických polí na riadenie správania nabitých iónových častíc v procese nanášania magnetrónovým naprašovaním.Proces vyžaduje komoru s vysokým vákuom na vytvorenie nízkotlakového prostredia na naprašovanie.Plyn, ktorý obsahuje plazmu, typicky plynný argón, vstupuje do komory ako prvý.
Medzi katódou a anódou sa aplikuje vysoké záporné napätie, aby sa iniciovala ionizácia inertného plynu.Pozitívne argónové ióny z plazmy sa zrážajú so záporne nabitým cieľovým materiálom.Každá kolízia častíc s vysokou energiou môže spôsobiť, že sa atómy z povrchu cieľa vymrštia do vákuového prostredia a vymrštia sa na povrch substrátu.
Silné magnetické pole vytvára vysokú hustotu plazmy tým, že obmedzuje elektróny blízko cieľového povrchu, zvyšuje rýchlosť depozície a zabraňuje poškodeniu substrátu bombardovaním iónmi.Väčšina materiálov môže pôsobiť ako cieľ pre proces naprašovania, pretože systém magnetrónového naprašovania nevyžaduje tavenie alebo odparovanie zdrojového materiálu.
Parametre produktu
Názov produktov | Terč z čistého titánu |
stupeň | Gr1 |
Čistota | Viac 99,7 % |
Hustota | 4,5 g/cm3 |
MOQ | 5 kusov |
Horúca predajná veľkosť | Φ95 * 40 mm Φ98 * 45 mm Φ100 * 40 mm Φ128 * 45 mm |
Aplikácia | Povlak pre PVD stroj |
Veľkosť skladu | Φ98 * 45 mm Φ100 * 40 mm |
Ďalšie dostupné ciele | molybdén (Mo) Chrome (Cr) TiAl meď (Cu) Zirkónium (Zr) |
Aplikácia
■Poťahovanie integrovaných obvodov.
■Povrchové panelové displeje plochých panelov a iných komponentov.
■Dekorácia a poťahovanie skla atď.
Aké produkty vieme vyrobiť
■Titánový plochý terč s vysokou čistotou (99,9 %, 99,95 %, 99,99 %)
■Štandardné závitové pripojenie pre jednoduchú inštaláciu (M90, M80)
■Nezávislá výroba, prijateľná cena (kontrolovateľná kvalita)
informacie o objednavke
Dopyty a objednávky by mali obsahovať nasledujúce informácie:
■ Priemer, výška (napríklad Φ100 * 40 mm).
■ Veľkosť závitu (napríklad M90 * 2 mm).
■ Množstvo.
■ Požiadavka na čistotu.