Kovový rotačný terč
Medzi naprašovacím terčom (katódou) a anódou sú aplikované ortogonálne magnetické a elektrické polia.A naplňte požadovaný inertný plyn (zvyčajne plyn Ar) do komory s vysokým vákuom.Pôsobením elektrického poľa sa plyn Ar ionizuje na kladné ióny a elektróny.Na terč sa aplikuje určité negatívne vysoké napätie, elektróny emitované terčom sú ovplyvnené magnetickým poľom, zvyšuje sa pravdepodobnosť ionizácie pracovného plynu, v blízkosti katódy sa vytvára plazma s vysokou hustotou a sú ovplyvnené ióny Ar Lorentzovou silou.Potom zrýchlite, aby ste leteli na cieľový povrch, a bombardujte cieľový povrch vysokou rýchlosťou, takže rozprášené atómy na cieli sa riadia princípom premeny hybnosti, letia z cieľového povrchu na substrát a ukladajú film s vysokou kinetickou energiou.
Aby sa ďalej zlepšila miera využitia materiálu elektrody, je navrhnutá rotačná katóda s vyššou účinnosťou využitia a na naprašovanie sa používa rúrkový materiál elektrody.Zlepšenie naprašovacieho zariadenia vyžaduje zmenu terča z plochého tvaru na rúrkový tvar a miera využitia rúrkového rotačného terča môže byť až 70 %, čo do značnej miery rieši problém nízkeho využitia plochého terča.
Názov produktov | Kovový otočný terč |
Materiál | W, Mo, Ta, Ni, Ti, Zr, Cr, TiAl |
Horúca predajná veľkosť | ID-133/ OD-157x 3191mm ID-133/OD-157 X 3855 mm ID-160/OD-180x1800mm Možné spracovať aj podľa špecifických požiadaviek zákazníkov |
MOQ | 3 kusy |
Balíček | Prevrstvené drevené puzdro |
Aplikácia
Naprašovanie je nový typ metódy fyzikálneho nanášania parou.V porovnaní s metódou odparovania má zjavné výhody
v mnohých aspektoch.Kovové naprašovacie terče sa používajú v mnohých oblastiach.Hlavná aplikácia rotačného terča.
■Solárne bunky
■Architektonické sklo
■Autosklo
■Polovodič
■TV s plochou obrazovkou atď
informacie o objednavke
Dopyty a objednávky by mali obsahovať nasledujúce informácie:
☑Cieľová špecifikácia ID×OD×L (mm).
☑Požadované množstvo.
☑Pre ďalšie špeciálne potreby nás prosím kontaktujte.